Clean Air Module
- Klimagerät für kleinste Luftmengen

Die Temperatur- und Feuchteregelung ist speziell für den Betrieb mit geringen Luftmengen konzipiert. Hierbei wird die Luft durch Dekompression von bauseitiger Druckluft generiert.

Die Kühlung erfolgt thermoelektrisch, ohne bauseitiges Prozesskühlwasser. Für die Befeuchtung wird das Trägergas (Druckluft) zusammen mit DI-Wasser in eine Befeuchterzelle kontrolliert injiziert. Damit wird eine sehr präzise Regelung der Feuchte erreicht.

Partikel und flüchtige organische Verbindungen (VOC) werden durch den Einsatz eines mehrstufigen Filtrationssystems eliminieret. Nachgeschaltete Prozesse können somit auf höchsten Niveau frei von Kontaminationen gehalten werden.